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硫化物管式炉CVD系统:带预加热炉
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硫化物管式炉CVD系统:带预加热炉

  • 品牌:SGM
  • 别称:管式炉
  • 温度:1200
  • 规格:
  • 类型:高温管式炉
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    此套系统硫化物管式炉CVD系统前端配有可加热到0-1000℃的蒸发器,辅助固体源蒸发,后端为双温区硫化炉,温度控制精确,操作简便。
    左端配有法兰支撑架可将预热器和硫化炉分开使用。右端可配气氛微调装置,可以准确的反应腔体内部的气体压力,带刻度的调
    节阀对于做低压CVD非常实用,重复性好;真空机组装有真空粉尘过滤器以保护机械式真空泵不被硫粉尘损坏。整套系统可在1200℃

    欧宝娱乐官方 以下的工艺温度稳定气相沉积二硫化钼等二维化合物材料。

    设备组成

    硫化物管式炉CVD系统由TF1100蒸发器,TF1200双温区管式炉,(蒸发器与高温反应区采用分体式),真空机组,可选浮子或质子混气室组成。

    主要技术参数

    名称:预加热蒸发器
    型号:TF-1000
    工作温度:室温-1000℃
    设计温度:1050℃
    升温速率:30℃/min
    推荐升温速率:10℃/min
    控温方式:智能化30段可编程控制
    工作电压:AC220 V
    额定功率:1000W
    控温精度:±1℃
    加热元件:电阻丝

    欧宝娱乐官方 加热区长度(mm):150mm 


    1200度双温区硫化炉 技术参数:

    名称:双温区硫化炉 

    型号:TF1200
    额定功率(KW):3

    欧宝娱乐官方 额定电压(V):AC220v  50/60 Hz

    控温精度(℃):±1
    加热元件:电阻丝

    设计温度(℃)1200(1 hour)
    持续工作温度(℃):1100
    升温速率(℃/min):≤50
    炉管尺寸(mm):
    高纯石英管Φ50×1500mm
    加热区长度(mm):150/300mm
    恒温区长度(mm):100/120mm  
    控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

    配件
    配真空粉尘过滤器,DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力,防腐型数显真空计,三路混气系统(可选)



    3路质子供气系统

    深V名称:3路质量流量计混气室
    设备重量:35Kg
    外形尺寸:600x600x650mm
    连接头类型:双卡套不锈钢接头。
    标准量程(N2标定):50sccm、200sccm、500sccm; (可根据用户要求定制)
    准确度:±1.5%
    线性:±0.5~1.5%
    重复精度:±0.2%
    响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec
    工作压差范围:0.1~0.5 MPa
    设计压力:3MPa
    接口:Φ6,1/4''
    显示:4位数字显示
    工作环境温度:5~45高纯气体             
    内外双抛不锈钢管:Φ6
    压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 
    截止阀:Φ6



    低真空机组技术参数:

    空气相对湿度≤85%,
    工作电电压:220V±10%  50~60HZ 
    功率:1千瓦
    抽气速率:4L/s
    极限真空:4X10-2Pa
    实验真空度:1.0X10-1Pa
    容油量:1.1L
    进气口口径:KF25
    排气口口径:KF25
    转速:1450rpm
    噪音:50dB
    外型尺寸:450×180×240mm
    配真空粉尘过滤器,DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力,INFICON PCG554复合真空计


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