此套系统硫化物管式炉CVD系统前端配有可加热到0-1000℃的蒸发器，辅助固体源蒸发，后端为双温区硫化炉，温度控制精确，操作简便。
左端配有法兰支撑架可将预热器和硫化炉分开使用。右端可配气氛微调装置，可以准确的反应腔体内部的气体压力，带刻度的调
节阀对于做低压CVD非常实用，重复性好；真空机组装有真空粉尘过滤器以保护机械式真空泵不被硫粉尘损坏。整套系统可在1200℃

欧宝娱乐官方 以下的工艺温度稳定气相沉积二硫化钼等二维化合物材料。

设备组成

硫化物管式炉CVD系统由TF1100蒸发器，TF1200双温区管式炉，(蒸发器与高温反应区采用分体式)，真空机组，可选浮子或质子混气室组成。

主要技术参数

名称：预加热蒸发器
型号：TF-1000
工作温度：室温-1000℃
设计温度：1050℃
升温速率：30℃/min
推荐升温速率：10℃/min
控温方式：智能化30段可编程控制
工作电压：AC220 V
额定功率：1000W
控温精度：±1℃
加热元件：电阻丝

欧宝娱乐官方 加热区长度（mm）：150mm 

1200度双温区硫化炉 技术参数：

名称：双温区硫化炉 

型号：TF1200
额定功率(KW):3

欧宝娱乐官方 额定电压(V):AC220v  50/60 Hz

控温精度(℃):±1
加热元件:电阻丝

设计温度(℃)：1200（1 hour）
持续工作温度(℃）：1100
升温速率（℃/min）：≤50
炉管尺寸（mm）：
高纯石英管Φ50×1500mm
加热区长度（mm）：150/300mm
恒温区长度（mm）:100/120mm  
控温方式:模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

配件
配真空粉尘过滤器，DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力，防腐型数显真空计，三路混气系统（可选）

3路质子供气系统

深V名称：3路质量流量计混气室
设备重量：35Kg
外形尺寸：600x600x650mm
连接头类型：双卡套不锈钢接头。
标准量程（N2标定)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根据用户要求定制）
准确度：±1.5%
线性：±0.5～1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
设计压力：3MPa
接口：Φ6,1/4''
显示：4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体             
内外双抛不锈钢管：Φ6
压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 
截止阀：Φ6

低真空机组技术参数：

空气相对湿度≤85%，
工作电电压：220V±10%  50~60HZ 
功率：1千瓦
抽气速率：4L/s
极限真空：4X10-2Pa
实验真空度：1.0X10-1Pa
容油量：1.1L
进气口口径：KF25
排气口口径：KF25
转速：1450rpm
噪音：50dB
外型尺寸:450×180×240mm
配真空粉尘过滤器，DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力，INFICON PCG554复合真空计