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1700度小型化学气相沉积CVD系统
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1700度小型化学气相沉积CVD系统

  • 品牌:SGM
  • 别称:1700度小型CVD系统
  • 温度:1700℃
  • 规格:
  • 类型:高温管式炉
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    1700度小型CVD系统是由SGMM TF80-17真空管式炉、混气系统、真空系统组成。混气系统可选2、3、4、5路混气,流量计可选浮子流量计或质子流量计。真空系统可选低真空或高真空。更多详细配置组合可联系我们。

    欧宝娱乐官方 高真空CVD系统主要由高温腔体、石英管、石英支架、气路系统、分子泵机组、自动化控制系统、冷却系统等组成。

    高真空CVD系统是一款专业在沉底材料上生长高质量石墨烯、碳纳米管、碳化硅的设备,广泛应用于在半导体、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。

    化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积薄膜材料的技术,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料。为此我们研发成套的CVD镀膜系统,适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域;

    结构特点:

    1、炉体采用双层风冷壳体结构,炉体表面温度低

    2、加热丝采用优质硅钼棒加热,温场均匀,能耗低;
    3、生长腔体采用99刚玉,配石英支架、为石墨烯等材料的生长提供洁净环境;
    4、炉膛采用高纯氧化铝多晶体纤维,不易掉粉、寿命长且保温性能好。
    5、密封法兰均采用不锈钢材质,配水冷套,可连续长时间工作;
    6、气路系统采用2路质量流量计(可拓展多路),配预混系统;
    7、气体种类: He/Ar、C2H2、NH3、N2, H2、PH3、GeH4、B2H6;
    8、温度、气体、真空、冷却水等通过PLC控制,通过PC实时控制和显示相关的实验参数,自动保存实验参数,也可采用手动控制; 
    9、系统采用集成化设计,控制系统、混气罐、质量流量计等均内置在箱体内部,占地面积小。整体安装四个可移动轮子,方便整体移动。

    1700度管式炉主要技术参数:


    电炉名称 1700度管式炉

    欧宝娱乐官方 产品型号

    SGM-TF80-1700

    工作温度

    欧宝娱乐官方 ≤1650℃

    炉管材质

    欧宝娱乐官方 99刚玉

    炉管尺寸 φ80*1200mm

    欧宝娱乐官方 加热区尺寸

    欧宝娱乐官方 310mm

    恒温区尺寸 220mm

    升温速率

    欧宝娱乐官方 ≤20℃/min

    电气规格

    欧宝娱乐官方 AC 220V  4.5KW

    控制系统

    智能温控

    混气系统

    气体系统(可选购)

    欧宝娱乐官方 流量计类型

    欧宝娱乐官方 浮子流量计

    质量流量计

    管道示意图

     

     

    欧宝娱乐官方 进气接口数量

    欧宝娱乐官方 2、3、4(多路可选)

    流量范围

    20-200/60-600l/min(多量程可选)

    50/100/200sccm(多量程可选)

    欧宝娱乐官方 工作压差范围

    0-0.15MPa

    低真空系统

    欧宝娱乐官方 低真空系统(可选购)

    欧宝娱乐官方 真空泵型号

    欧宝娱乐官方 SGM-1.5C

    SGM-3C

    欧宝娱乐官方 SGM-4C

    抽气速率

    1L/s

    3L/s

    4L/s

    欧宝娱乐官方 进排气口尺寸

    Φ8mm宝塔接头

    Φ8mm宝塔接头

    KF16/25

    欧宝娱乐官方 极限压力

    1000Pa

    欧宝娱乐官方 100Pa

    10Pa

    欧宝娱乐官方 工作温度

    欧宝娱乐官方 5-40℃

    欧宝娱乐官方 电气规格

    欧宝娱乐官方 AC220V

    高温真空系统:


    分子泵高真空系统

    (可选购)

    分子泵系统型号

    SGM-103(A)

    SGM-103(B)

    SGM-103(C)

    抽气速率

    110L/s

    600L/s

    700L/s

    真空测量计

    复合真空计

    极限压力

    10^-3Pa

    10^-4Pa

    10^-5Pa

    工作温度

    5-40℃

    电气规格

    AC 220V

    AC 220V

    AC 380V

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